2、橢偏儀測薄膜厚度的基本原理：電磁阻抗原理。交流阻抗也叫做電化學阻抗譜(Electrochemical Impedance Spectroscopy，簡寫為 EIS)，早期的電化學文獻中稱為交流阻抗(AC Impedance)。

3、橢偏儀12是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量儀器。

4、因此可以作為分析工具使用。對一些表面結構、表面過程和表面反應相當敏感。